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進口晶片強光燈-目檢強光燈-晶片顆粒缺陷檢測儀-wafer表面檢測強光燈-高亮度鹵素射燈
目檢強光燈用于肉眼觀察的照明設備,可檢測各種半導體晶片(硅片,砷化鎵,藍寶石,碳化硅等)及液晶基板,在加工中形成異物,刮痕,拋光不均,霧狀,劃傷等。
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多工位硅片甩干機,半導體晶片甩干機
SP-600 型旋轉沖洗甩干機是一種對藍寶石襯底片,鍺片,半導體硅片等進行快速清洗、離心脫水,然后再進行烘干的全自動化設備。本系列機型可以適應從φ25mm 到φ200mm 直徑(包括方形和其它特殊形狀)片式材料的旋轉沖洗甩干工藝??捎糜诎雽w晶片、砷化鎵材料、掩膜版、太陽能電池基片、藍寶石、鈮酸鋰、光學鏡片、磁盤、光盤、醫用玻璃基片等類似材料的高潔凈度沖洗甩干。
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Semitool 870S雙腔室晶片甩干機,半導體硅片甩干機
SEMITOOL產品中的SRD旋轉沖洗甩干機是根據國際、國內半導體產業的發展和市場需求,研究開發的旋轉沖洗甩干設備。該機型具有高潔凈度旋轉沖洗甩干功能。本系列機型可以適應從φ25mm 到φ200mm直徑(包括方形和其它特殊形狀)片式材料的旋轉沖洗甩干工藝??捎糜诎雽w晶片、砷化鎵材料、掩膜版、太陽能電池基片、藍寶石、鈮酸鋰、光學鏡片、磁盤、光盤、醫用玻璃基片等類似材料的高潔凈度沖洗甩干。是半導體濕法清洗工藝中必不可少的主流設備之一。
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